Laboratory of Nanostructures and Nanomaterials
Project goals
LNSM aims to prepare and investigate unique materials and nanostructures dedicated for fundamental as well as application oriented research in spintronics, microelectronics, nanoelectronics and photovoltaic energy conversion and energy accumulation. For this purpose the infrastructure provides unique technologies as well as prominent theoretical background and extensive research experience. The deposition techniques provided by LNSM do not have alternative within the country: the molecular beam epitaxy (MBE) and newly installed MOVPE epitaxy of the GaN related semiconductors are the only installations within the Czech Republic. Novel types of silicon and diamond nanostructures are prepared in plasma enhanced chemical vapour deposition systems (PECVD). The deposition systems are complemented by micro- and nano-structuring methods based on optical and electron beam lithography, reactive ion etching, and ion milling. For characterization of materials and nanostructures the infrastructure provides a set of state-of-the-art methods, including advanced regimes of electron microscopies, atomic force microscopies, optical spectroscopies, and other specialized methods. Apart from the in-house research activities, the infrastructure participates in the collaborative research with a large number of university laboratories, research institutes as well as with numerous industrial partners on national and international level.
Keywords
Public support
Provider
Ministry of Education, Youth and Sports
Programme
—
Call for proposals
—
Main participants
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Contest type
VL - Approved by the Government
Contract ID
MSMT-1000/2016
Alternative language
Project name in Czech
Laboratoř nanostruktur a nanomateriálů
Annotation in Czech
Cílem LNSM je příprava a zkoumání unikátních materiálů a nanostruktur určených pro základní i aplikovaný výzkum v oboru spintroniky, mikroelektroniky, nanoelektroniky, fotovoltaiky a akumulace energie. Pro tento cíl je infrastruktura vybavena jak unikátními technologiemi, tak významným teoretickým zázemím a rozsáhlým vlastním výzkumem. Depoziční technologie LNSM jsou jedinečné: epitaxe z molekulárních svazků (MBE) a nově instalovaná plynná epitaxe (MOVPE) galium nitridových polovodičů jsou jedinými zařízeními tohoto druhu v rámci ČR. Nové typy křemíkových a diamantových nanostruktur jsou připravovány depozičními systémy využívajícími rozklad chemických par v plazmatu (PECVD). Depoziční systémy jsou doplněny technologiemi pro mikro- a nano-strukturování, založenými na optické a elektronové litografii, reaktivním iontovém leptání a iontovém mletí. Pro charakterizaci materiálů a nanostruktur poskytuje infrastruktura soubor moderních metod zahrnující pokročilé režimy elektronové mikroskopie, mikroskopie atomárních sil, optické spektroskopie a další specializované metody. Kromě vlastních výzkumných aktivit se infrastruktura podílí na výzkumu ve spolupráci s řadou univerzitních pracovišť, výzkumných ústavů a průmyslových partnerů na národní a mezinárodní úrovni.
Scientific branches
R&D category
IF - RDI infrastructure
CEP classification - main branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - another secondary branch
—
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
All project objectives and tasks were achieved. The development was faster than expected: the number of users at the national level exceeded 50 and at the transnational level there are more than 100 international institutions. The infrastructure is a recognized partner in research and development in the field of thin-film crystalline (nano) structures and their applications for major companies in this field, e.g. Hitachi, On Semiconductor, FEI, HVM Plasma, and others) and technology transfer e.g. in the field of photovoltaics.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2016
Realization period - end
Dec 31, 2019
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 15, 2019
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP20-MSM-LM-U/03:1
Data delivery date
Jun 25, 2020
Finance
Total approved costs
50,069 thou. CZK
Public financial support
50,069 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Basic information
Recognised costs
50 069 CZK thou.
Public support
50 069 CZK thou.
100%
Provider
Ministry of Education, Youth and Sports
CEP
BM - Solid-state physics and magnetism
Solution period
01. 01. 2016 - 31. 12. 2019