Metrology of small structures for the manufacturing of electronic and optical devices
Public support
Provider
Ministry of Education, Youth and Sports
Programme
—
Call for proposals
FP6-2005-Energy-4
Main participants
—
Contest type
RP - Co-financing of EC programme
Contract ID
MSMT-2490/2013-310
Alternative language
Project name in Czech
Metrologie malých struktur pro výrobu elektronických a optických zařízení
Annotation in Czech
Projekt je zaměřen zejména na rychlou a vysoce přesnou analýzu geometrických vlastností nanostruktur, která by byla využitelná v průmyslových procesech. Pro takové účely je často vhodné využívat měření rozptylu světla, které na některých typických strukturách (jako jsou např. difrakční mřížky) samo o sobě poskytuje dostatek informace o morfologii vzorku. Cílem projektu je proto vyvinout robustní nástroje pro analýzu dat z rozptylu světla. Jako doplňující metoda je využita mikroskopie atomárních sil, která je schopna poskytnout informace o morfologii přímo, ač mnohem pomaleji a na menší ploše. Porovnáním obou metod bude možné optimalizovat proces detekce morfologie povrchů z optických dat a stanovit jednotlivé nejistoty při takových měřeních. ČMI se v projektu zaměřuje na výpočty rozptylu metodou FDTD (Finite Difference in Time Domain).
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
CEP classification - main branch
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
CEP - secondary branch
BH - Optics, masers and lasers
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Within the project a set of tools for traceability of scatterometry measurements was developed, including novel devices e.g. in EUV and X-ray range, numerical modeling methods and uncertainty analysis of scatterometry measurements.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2012
Realization period - end
Sep 30, 2014
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Mar 6, 2014
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP15-MSM-7A-U/01:1
Data delivery date
Jul 2, 2015
Finance
Total approved costs
1,290 thou. CZK
Public financial support
1,290 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK