FastPIMS: Simulation driven Fast switch match system for pulsed rf/HiPIMS plasma applications
Public support
Provider
Ministry of Industry and Trade
Programme
—
Call for proposals
—
Main participants
PlasmaSolve s.r.o.
Contest type
OP - EU Operational Programme
Contract ID
MPO 111808/23/61400
Alternative language
Project name in Czech
Simulací řízený vývoj technologie FastPIMS: systém rychlého spínání pro pulzní RF/HiPIMS plazmové aplikace
Annotation in Czech
Cílem projektu je vyvinout globální model RF a HiPIMS naprašování, který umožní proces RF/HiPIMS naprašování oxidových povlaků nastavit a přizpůsobit pro konkrétní uživatele a jejich aplikace bez nutnosti zdlouhavého procesu testování, včetně ověřené technologie a validační a verifikační studie. Jedná se národní projekt, který byl podán společně s německými partnery (výzkumná organizace a podnik) v rámci mezinárodního schématu Ira-SME. Cílem projektu je vyvinout prototypovací software, který umožní proces RF/HiPIMS naprašování oxidových povlaků nastavit a přizpůsobit pro konkrétní uživatele a jejich aplikace bez nutnosti zdlouhavého procesu testování metodou pokus-omyl. Využije přitom své know-how v oblasti vývoje průmyslových simulací pro procesy fyzikálního napařování (PVD) a nanášení povlaků pomocí plazmatu (PECVD). Doposud se firma v rámci svého vývoje zaměřovala na stejnosměrné (DC) nebo pulzní naprašování zejména supertvrdých nitridových vrstev. Nové navrhované řešení přichází s unikátní kombinací RF (radiofrekvenční) a HiPIMS (high-impulse power magnetron sputtering) naprašování pro přípravu funkčních oxidových povlaků pro zejména polovodičový, solární nebo optický průmysl.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
OECD FORD - main branch
10201 - Computer sciences, information science, bioinformathics (hardware development to be 2.2, social aspect to be 5.8)
OECD FORD - secondary branch
—
OECD FORD - another secondary branch
—
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
AF - Documentation, librarianship, work with information<br>BC - Theory and management systems<br>BD - Information theory<br>IN - Informatics
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The project was carried out in accordance with the approved plan and the established objectives. During the course of the project, the defined research goals and individual partial tasks were systematically fulfilled. The achieved results correspond to the planned project outputs and represent a relevant contribution to the advancement of knowledge in the given field of study. The project outputs create the preconditions for their further use in both research and applied practice. Based on the achieved results, it can be concluded that the project fulfilled its defined objectives and was successfully implemented in accordance with the original assignment.
Solution timeline
Realization period - beginning
May 1, 2023
Realization period - end
Oct 21, 2025
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Dec 13, 2023
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP26-MPO-EI-U
Data delivery date
Mar 5, 2026
Finance
Total approved costs
5,997 thou. CZK
Public financial support
0 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
2,040 thou. CZK