FastPIMS: Simulation driven Fast switch match system for pulsed rf/HiPIMS plasma applications
Public support
Provider
Ministry of Industry and Trade
Programme
—
Call for proposals
—
Main participants
PlasmaSolve s.r.o.
Contest type
OP - EU Operational Programme
Contract ID
MPO 111808/23/61400
Alternative language
Project name in Czech
Simulací řízený vývoj technologie FastPIMS: systém rychlého spínání pro pulzní RF/HiPIMS plazmové aplikace
Annotation in Czech
Cílem projektu je vyvinout globální model RF a HiPIMS naprašování, který umožní proces RF/HiPIMS naprašování oxidových povlaků nastavit a přizpůsobit pro konkrétní uživatele a jejich aplikace bez nutnosti zdlouhavého procesu testování, včetně ověřené technologie a validační a verifikační studie. Jedná se národní projekt, který byl podán společně s německými partnery (výzkumná organizace a podnik) v rámci mezinárodního schématu Ira-SME. Cílem projektu je vyvinout prototypovací software, který umožní proces RF/HiPIMS naprašování oxidových povlaků nastavit a přizpůsobit pro konkrétní uživatele a jejich aplikace bez nutnosti zdlouhavého procesu testování metodou pokus-omyl. Využije přitom své know-how v oblasti vývoje průmyslových simulací pro procesy fyzikálního napařování (PVD) a nanášení povlaků pomocí plazmatu (PECVD). Doposud se firma v rámci svého vývoje zaměřovala na stejnosměrné (DC) nebo pulzní naprašování zejména supertvrdých nitridových vrstev. Nové navrhované řešení přichází s unikátní kombinací RF (radiofrekvenční) a HiPIMS (high-impulse power magnetron sputtering) naprašování pro přípravu funkčních oxidových povlaků pro zejména polovodičový, solární nebo optický průmysl.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
OECD FORD - main branch
10201 - Computer sciences, information science, bioinformathics (hardware development to be 2.2, social aspect to be 5.8)
OECD FORD - secondary branch
—
OECD FORD - another secondary branch
—
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
AF - Documentation, librarianship, work with information<br>BC - Theory and management systems<br>BD - Information theory<br>IN - Informatics
Solution timeline
Realization period - beginning
May 1, 2023
Realization period - end
Apr 30, 2025
Project status
K - Ending multi-year project
Latest support payment
Dec 13, 2023
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP25-MPO-EI-R
Data delivery date
Feb 20, 2025
Finance
Total approved costs
5,997 thou. CZK
Public financial support
0 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
2,040 thou. CZK