Colloidal diffuse sources for the technology of power semiconductor devices
Public support
Provider
Ministry of Industry and Trade
Programme
TRIO
Call for proposals
TRIO 3 (SMPO201800001)
Main participants
Hitachi Energy Czech Republic s.r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
2018FV30151
Alternative language
Project name in Czech
Koloidní difuzní zdroje pro technologii výkonových polovodičových součástek
Annotation in Czech
Projekt je zaměřen na průmyslový výzkum nové technologie výroby výkonových polovodičových součástek, která patří mezi jednu z klíčových technologií současnosti (KETs). Základem polovodičových součástek je takzvaný PN přechod, který se připravuje dotací vybraných chemických prvků, především fosforu a bóru, do křemíkového substrátu. V současné průmyslové výrobě výkonových součástek se k výrobě PN přechodů využívá difuze dopantů z kapalných difuzních zdrojů. Tato technologie neumožňuje dosáhnout vyšší výtěžnosti výroby než je 75 % teoretické výtěžnosti. Důvodem je nízká homogenita připravených vrstev, která, v kombinaci s plánovaným rozložením součástek na křemíkovém substrátu, snižuje výtěžnost nejméně o 25 %. Tato nevýhoda může být odstraněna nahrazením difuzních roztoků roztoky obsahujícími nanočástice –tzv. koloidy. Hlavním cílem projektu je výzkum koloidních difuzních zdrojů fosforu a bóru a jejich aplikace v technologii polovodičových výkonových součástek, především při výrobě usměrňovacích diod. Kolidní difuzní zdroje fosforu a bóru, vyvinuté v rámci průmyslového výzkumu, budou zavedeny do stávajícího technologického provozu, kde nahradí v současnosti používané kapalné difuzní zdroje. Projekt spojuje know-how Ústavu fotoniky a elektroniky v oblasti anorganických nanomateriálů s výrobní technologií výkonových polovodičových součástek společnosti ABB, s.r.o. Výsledky společného průmyslového výzkumu mají být převedeny do technologického provozu a neprodleně zařazeny do výrobního programu uchazeče. Zavedení koloidních difuzních zdrojů do technologie výroby výkonových polovodičových součástek má výrazně snížit energetickou náročnost výroby a efektivitu využití materiálových zdrojů nezbytných pro výrobu finálních produktů.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
OECD FORD - main branch
20201 - Electrical and electronic engineering
OECD FORD - secondary branch
20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)
OECD FORD - another secondary branch
—
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
JA - Electronics and optoelectronics<br>JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation<br>JJ - Other materials
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The project results in colloidal diffusion sources of phosphorus and boron and their application in semiconductor power component technology, especially in the production of rectifier diodes.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2018
Realization period - end
Dec 31, 2019
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Mar 18, 2019
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP20-MPO-FV-U
Data delivery date
May 15, 2024
Finance
Total approved costs
10,198 thou. CZK
Public financial support
6,567 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
3,632 thou. CZK