Non-Contact, Non-Destructive Measurement and Topography of the Surfaces with Nanometer Resolution
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
—
Main participants
Vysoké učení technické v Brně
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Bezkontaktní nedestruktivní měření a topografie povrchů s nanometrickou rozlišovací schopností
Annotation in Czech
Na základě transferu know-how ze zemí EHS a USA do ČR ustanovit nový obor využívající nejmodernějších technologických postupů bezkontaktního nedestruktivního měření drsnosti kovových a nekovových dielektrických materiálů s nanometrickou rozlišovací schopností pomocí: - rastrovacího optického mikroskopu pracujícího na bázi optického tunelového jevu, -rastrovacího mikroskopu využívajícího působení meziatomových sil, -zařízení využívajících dalších optických principů (speckle, holografie), bez nutnosti praovat ve vakuu a s pokovenými povrchy. Metody mohou sloužit k měření a zobrazování kovových povrchů, polovodičových a biologických vzorků, tenkovrstvých integrovaných obvodů, litografických masek, mikrokrystalů. XXX
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
JS - Reliability and quality management, industrial testing
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
20306 - Audio engineering, reliability analysis
Completed project evaluation
Provider evaluation
—
Project results evaluation
XXX
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1993
Realization period - end
Jan 1, 1995
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/1996/GA0/GA06GA/V/1:1
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
118 thou. CZK
Public financial support
236 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK