Chemical aspects of thin layer deposition of the AIII-nitrides in relation to electronic applications
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 2 (SGA02003GA-ST)
Main participants
Vysoká škola chemicko-technologická v Praze / Fakulta chemické technologie
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Chemické aspekty přípravy tenkých vrstev nitridů 3. podskupiny ve vztahu k aplikacím v elektronice
Annotation in Czech
Nitridy hliníku, gallia a india a jejich pevné roztoky, (Al,Ga,In)N, jsou v současné době materiály celosvětového významu, aplikované především v optoelektronice a vysokoteplotní elektronice. Tento strategický význam je však stále provázen některýmidosudnevyřešenými problémy v oblasti přípravy vysoce kvalitních epitaxních vrstev technologií MOVPE. Vážným problémem je např. zabudovávání india v roztocích AlInN a GaInN ve vyšších koncentracích při vyšších depozičních teplotách, reálná možnost fázovéodmíšení v ternárních a kvaternárních systémech a některé další. Nezanedbatelné nejsou ani některé rozporuplné literární údaje o optimálních technologických podmínkách přípravy kvalitních vrstev, např. vliv tlaku v technologii MOVPE. Navrhovaný projektje proto částečně zaměřen na přípravu ternárních, popřípadě kvaternárních pevných roztoků a jejich diagnostiku se zpětnou vazbou na technologické podmínky. Vrstvy budou připravovány technologií MOVPE na laboratorním technologickém zařízení, které bylo
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - secondary branch
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The heat capacities and relative enthalpies were measured, respectively, in the temperature intervals (320-570 K) and (670-1270 K) for GaN and (305-390 K) and (427-774 K) for InN. The standard molar entropies at 298 K were evaluated form the analysis o
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2003
Realization period - end
Jan 1, 2005
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP06-GA0-GA-U/07:6
Data delivery date
Jan 15, 2009
Finance
Total approved costs
1,811 thou. CZK
Public financial support
1,811 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK