Controlled depostion compound and sandwiches thin films by vacuum reactive arc evaporation
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
—
Main participants
Západočeská univerzita v Plzni / Nové technologie - výzkumné centrum
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Řízené depozice směsných a sendvičových tenkých vrstev pomocí reaktivního obloukového výboje ve vakuu
Annotation in Czech
Navrhovaný grant se zabývá depozicemi tenkých vrstev binárních, ternárních a kvarterních nitridů metodou reaktivního obloukového odpařování ve vakuu především z hlediska materiálového výzkumu různých tenkých vrstev, vlivu základního materiálu na výslednýsystém vrstva-substrát a především mechanických vlastností. Obloukové odpařování je výhodnější např. proti magnetronové depozici z hlediska vysoké depoziční rychlosti, vysoké ionizaci částic a lepšího adhezivního chování. Nejprve bude propracována depozice tenkých vrstev binárních nitridů TiN a ZrN s cílem přesně korelovat vlastnosti vrstev s depozičními parametry a s mikrostrukturou vrstev. To je nutný předpoklad řízeného využívání mechanických vlastností. Přidáním příměsí k binárním nitridům docházíke zlepšování některých vlastností. Proto druhým cílem grantu je depozice ternárních nitridů s možností řízení složení v širokém rozsahu. Důkladně budou analyzovány a porovnány tenkovrstvé systémy při obdobných podmínkách jejich depozice. Získaných znal
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
JK - Corrosion and material surfaces
CEP - secondary branch
JG - Metallurgy, metal materials
CEP - another secondary branch
JL - Fatigue and fracture mechanics
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
20306 - Audio engineering, reliability analysis<br>20501 - Materials engineering<br>20506 - Coating and films
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Odborný přínos grantového projektu je průkazně doložen sérií příspěvků přednesených na specializovaných konferencích u nás i v zahraničí a také proběhlým, úspěšným oponentním jednáním k získaným výsledkům. Údaje řešitele jsou adekvátní skutečnému přínosu
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1996
Realization period - end
Jan 1, 1998
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/1999/GA0/GA09GA/V/6:6
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
1,871 thou. CZK
Public financial support
1,721 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK