Laser ablation-deposition on chemical gas-sensors formation
Project goals
The project is concerned with preparation of active layers of chemical sensors by laser ablation-deposition method. The active layers are deposited from oxidic( SnO2, In2O3, TiO2) and acetyl-acetonic (SnAcAc, InAcAc, TiOAcAc, FeAcAc) targets by using anexcimer KrF laser. This method of preparation of active layers is original by using acetyl-acetonates and also from the technological point of view- laser technology is not a conventional deposition method. The objectives of this project are: preparationand investigation of sensor layered structures, measurement of their sensitivity to reducing gases, measurement of their dynamical properties and comparing of electrical properties of distinct sensors.
Keywords
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
—
Main participants
Vysoká škola chemicko-technologická v Praze / Fakulta chemické technologie
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Využití laserové ablace-depozice k přípravě chemických senzorů detegujících plyny
Annotation in Czech
Předložený projekt se zabývá problematikou přípravy aktivních vrstev chemických senzorů metodou laserové ablace-depozice. Aktivní vrstvy na bázi oxidů a acetyl-acetonátů cínu, india a titanu se deponují s využitím excimerového KrF laseru z tablet (targetů) připravených lisováním. Tato metoda přípravy aktivních vrstev čidel je originální využitím laseru pro depozici i volbou acetyl-acetonátů. Hlavními úkoly projektu jsou příprava a výzkum vlastností vrstevnatých struktur čidel (proměření jejich citlivosti a selektivity vůči běžným redukčním plynům), měření dynamických vlastností čidel (viz Rozbor problému v části PC) a srovnání elektrických vlastností čidel (ss a střídavá analýza prvků náhradního obvodu čidla).
Scientific branches
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Výsledky výzkumu uvedené řešitelem odpovídají skutečnosti, jsou velmi pečlivě zpracovány a byly vhodně publikovány. Počet prací uveřejněných v renomovaných časopisech je vzhledem ke kapacitním možnostem řešitele mimořádný. Totéž platí o příspěvcích preze
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1998
Realization period - end
Jan 1, 2000
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2001/GA0/GA01GA/U/N/9:4
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
365 thou. CZK
Public financial support
365 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Recognised costs
365 CZK thou.
Public support
365 CZK thou.
0%
Provider
Czech Science Foundation
CEP
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
Solution period
01. 01. 1998 - 01. 01. 2000