Optical and mechanical properties of DLC : Si thin films prepared by the PECVD method

Provider

Czech Science Foundation

Programme

Standard projects

Call for proposals

Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)

Main participants

Masarykova univerzita / Přírodovědecká fakulta

Contest type

VS - Public tender

Contract ID

—

Project name in Czech

Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou

Annotation in Czech

Cílem projektu je pro vest systematické studium optických a mechanických vlastností tenkých vrstev DLC (diamond like carbon) obsahujících příměsi křemíku (DLC:Si). V rámci tohoto studia bude použita nová optická metoda založená na kombinaci spektroskopic

R&D category

—

CEP classification - main branch

BL - Plasma physics and discharge through gases

CEP - secondary branch

—

CEP - another secondary branch

—

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Provider evaluation

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Project results evaluation

Diamantu podobné vrstvy, jejichž studium bylo předmětem hodnoceného projektu, mají bezesporu velký potenciální význam pro praxi. V rámci projektu byly vyvinuty metody proměření vlastností těchto vrstev a dva nové fyzikální modely. Vlastnosti vrstev byly

Realization period - beginning

Jan 1, 2001

Realization period - end

Jan 1, 2003

Project status

U - Finished project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP/2004/GA0/GA04GA/U/N/A:11

Data delivery date

May 30, 2008

Total approved costs

3,594 thou. CZK

Public financial support

2,730 thou. CZK

Other public sources

864 thou. CZK

Non public and foreign sources

0 thou. CZK