MW PE chemical vapour deposition of diamond layers and study of electronic and biofunctional surface properties

Provider

Czech Science Foundation

Programme

Standard projects

Call for proposals

Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)

Main participants

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

Contest type

VS - Public tender

Contract ID

—

Project name in Czech

Příprava diamantových vrstev metodou MW PECVD a kontrola povrchových elektronických a bioaktivních vlastností

Annotation in Czech

Těžiště projektu je v přípravě kvalitních diamantových vrstev metodou deposice rozkladem plynné fáze v mikrovlnném plasmatu (microwave plasma enhanced chemical vapour deposition, MW PE-CVD). Bude použita nově vyvinutá komerční aparatura firmy AIXTRON s naší modifikací umožňující dopování a kontrolu povrchové vodivosti u homoepitaxních vrstev a růst heteroepitaxních vrstev až do průměru 5 cm. Bude studována příčina děrové povrchové vodivosti diamantových vrstev terminovaných vodíkem, elektronová vodivostv povrchové vrstvě bude dosažena dopováním fosforem či jiným dopantem. Bude teoreticky a experimentálně studován proces nukleace, povrchové rekonstrukce a mechanismu růstu, což je nezbytné pro úspěšné dopování vrstev. Bude použita řada optickýchspektroskopických metod (fototermální deflekční spektroskopie, metoda konstantního fotoproudu, Fourierovská fotovodivostní spektroskopie v infračervené oblasti, klasická Fourierovská infračervená spektroskopie) současně s elektronovou paramagnetickou

R&D category

ZV - Basic research

CEP classification - main branch

BM - Solid-state physics and magnetism

CEP - secondary branch

JA - Electronics and optoelectronics

CEP - another secondary branch

—

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Provider evaluation

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Project results evaluation

Task no. 1: We have optimized technology of polycrystalline diamond layers by Microwave plasma assisted chemical vapor deposition. We have modified our reactor for bias enhanced nucleation and reached homogeneous nuclei density 3-4 x 1010 cm-2 and added

Realization period - beginning

Jan 1, 2002

Realization period - end

Jan 1, 2004

Project status

U - Finished project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP/2005/GA0/GA05GA/U/N/B:7

Data delivery date

Jun 2, 2008

Total approved costs

8,060 thou. CZK

Public financial support

2,515 thou. CZK

Other public sources

5,545 thou. CZK

Non public and foreign sources

0 thou. CZK