Study of plasma formed in hybrid arrangement of pulsed laser deposition
Project goals
The hybrid laser deposition method (H-PLD) of thin layers is a new deposition technology combined the pulsed laser deposition with applied discharges or sources of plasma (DC, RF, hollow cathode discharges, combination with magnetrone, etc.). The H-PLD method is already well-understood and provides thin layers with the required quality. However, the basic physical and chemical processes constituting the described process have not been fully elucidated. The goal is to employ spectroscopic methods to obtain basic information on the presence of reactive molecules in the H-PLD plasma and on the dynamics of propagating of the plasma plume at medium pressures (units to hundreds of Pa) and to further improve the method on the basis of the information obtained. The main target is a more detailed understanding of chemical and physical phenomena in the H-PLD process, monitoring of the formation of chemical intermediates and an attempt at detection and spectroscopic identification of species that have
Keywords
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 9 (SGA02006GA-ST)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
202/06/0216
Alternative language
Project name in Czech
Studium plazmatu vznikajícího při hybridní modifikaci pulzní laserové depozice
Annotation in Czech
Metodika hybridní laserové depozice (H-PLD) tenkých vrstev je novou depoziční technikou kombinující pulzní laserovou depozici s dalšími výboji či zdroji plazmatu (DC a RF výboj, výboj v duté katodě, kombinace s magnetronem, aj.). V některých případech jedepoziční část této technologie zvládnuta a poskytuje speciální tenké vrstvy požadovaných kvalit. Základní fyzikální a chemické děje tvořící popisovaný proces však nejsou dosud zcela objasněny. Cílem předkládaného projektu je pomocí spektroskopických a dalších metod získat základní informace o přítomnosti reaktivních molekul (specií) v H-PLD plazmatu a dynamice šíření plazmatického oblaku při středních tlacích (jednotky až stovky Pa) a na základě získaných informací metodu depozice dále zdokonalit. Hlavním cílem je podrobnější pochopení chemických a fyzikálních jevů v H-PLD procesu, sledování vzniku chemických meziproduktů a pokus o detekci a spektroskopickou identifikaci dosud experimentálně nepozorovaných specií např. karbidů a nitridů
Scientific branches
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
The main purpose of the Project was the detailed understanding of the physical-chemistry phenomena of the Hybrid pulsed laser deposition process, the investigation of the interlude products and consequent spectroscopic identification of possible new spec
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2006
Realization period - end
Dec 31, 2008
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Apr 25, 2008
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP09-GA0-GA-U/02:2
Data delivery date
Oct 22, 2009
Finance
Total approved costs
1,945 thou. CZK
Public financial support
1,945 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Basic information
Recognised costs
1 945 CZK thou.
Public support
1 945 CZK thou.
100%
Provider
Czech Science Foundation
CEP
BL - Plasma physics and discharge through gases
Solution period
01. 01. 2006 - 31. 12. 2008