Study of plasma formed in hybrid arrangement of pulsed laser deposition
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 9 (SGA02006GA-ST)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
202/06/0216
Alternative language
Project name in Czech
Studium plazmatu vznikajícího při hybridní modifikaci pulzní laserové depozice
Annotation in Czech
Metodika hybridní laserové depozice (H-PLD) tenkých vrstev je novou depoziční technikou kombinující pulzní laserovou depozici s dalšími výboji či zdroji plazmatu (DC a RF výboj, výboj v duté katodě, kombinace s magnetronem, aj.). V některých případech jedepoziční část této technologie zvládnuta a poskytuje speciální tenké vrstvy požadovaných kvalit. Základní fyzikální a chemické děje tvořící popisovaný proces však nejsou dosud zcela objasněny. Cílem předkládaného projektu je pomocí spektroskopických a dalších metod získat základní informace o přítomnosti reaktivních molekul (specií) v H-PLD plazmatu a dynamice šíření plazmatického oblaku při středních tlacích (jednotky až stovky Pa) a na základě získaných informací metodu depozice dále zdokonalit. Hlavním cílem je podrobnější pochopení chemických a fyzikálních jevů v H-PLD procesu, sledování vzniku chemických meziproduktů a pokus o detekci a spektroskopickou identifikaci dosud experimentálně nepozorovaných specií např. karbidů a nitridů
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
The main purpose of the Project was the detailed understanding of the physical-chemistry phenomena of the Hybrid pulsed laser deposition process, the investigation of the interlude products and consequent spectroscopic identification of possible new spec
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2006
Realization period - end
Dec 31, 2008
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Apr 25, 2008
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP09-GA0-GA-U/02:2
Data delivery date
Oct 22, 2009
Finance
Total approved costs
1,945 thou. CZK
Public financial support
1,945 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK