Research of Processes of Laser Thin Film Deposition
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
—
Main participants
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Studium procesu laserové depozice tenkých vrstev
Annotation in Czech
Projekt je zaměřen na studium fyzikálních procesů depozice tenkých vrstev laserovou ablací, studium mechanismu růstu vrstev, parametrů laserové ablace a studium vlastností deponovaných vrstev. Bude zkoumán vliv depozičních podmínek (jako hustota výkonu laserového záření na terči, časové a prostorové rozložení plazmatu, množství a složení ionizovaných částic v plazmovém obláčku, vliv elektrických polí, vzdálenost terč - substrát, složení a tlak atmosféry v interakční komoře během a po depozici, teplota pdložky, rychlost růstu vrstvy, vliv vlastnosti terče, vliv podložky atd.) na růst epitaxních, hladkých, velkoplošných vrstev. Pozornost bude zaměřena zejména na optimalizaci depozičních podmínek při depozici tenkých feroelektrických, supravodivých a tvrdch uhlíkových vrstev. Další oblastí výzkumu je vytváření multivrstev definovaných vlastností.
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - secondary branch
BH - Optics, masers and lasers
CEP - another secondary branch
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
—
Project results evaluation
XXX
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1993
Realization period - end
Jan 1, 1995
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/1996/GA0/GA06GA/V/1:1
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
112 thou. CZK
Public financial support
224 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK