Theoretical and Experimental Investigation of Plasma-Chemical Systems with the Plasma Nozzle
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
—
Main participants
Univerzita Karlova / Matematicko-fyzikální fakulta
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Teoretické a experimentální studium plazma-chemických systémů s plazmatickou tryskou
Annotation in Czech
Experimentální a teoretický výzkum plazma-chemických systémů s plazmatickou tryskou. Souběžně budou studovány možnosti depozice tenkých vrstev a suchého leptání v dutinách a na povrchu substrátů komplikovaných tvarů. Jedná se o interdisciplinární obor voblasti fyziky plazmatu, plazmochemie, aeromechaniky a fyziky tenkých vrstev. Výzkumné práce budou provedeny řešitelskými pracovišti v rámci spolupráce ve Sdružení pro vzdělávání výzkum a aplikace v oblasti plazmochemie. Sdružení je nevýdělečná výzkumnárganizace, smlouva o Sdružení je v příloze. XXX
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
BH - Optics, masers and lasers
CEP - another secondary branch
CI - Industrial chemistry and chemical engineering
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20401 - Chemical engineering (plants, products)<br>20402 - Chemical process engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
—
Project results evaluation
XXX
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1993
Realization period - end
Jan 1, 1995
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/1996/GA0/GA06GA/V/1:1
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
467 thou. CZK
Public financial support
934 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK