Pulsed-Laser Induced Processes in Thin Metal and Insulator Films on Semiconductor Surfaces
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
—
Main participants
České vysoké učení technické v Praze / Fakulta stavební
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Studium procesů v tenkých vrstvách kovů a izolantů deponovaných na povrchu polovodičů, vyvolaných pulsním laserovým zářením
Annotation in Czech
Bude vyvinut matematický model nerovnovážného tání a tuhnutí s chemickými reakcemi systémů kov-izolant-polovodič, řízeného pulsním laserem. Poprvé bude analyzována fenomenologie růstu silicidů a specifické atomové mechanismy vytváření fází za nerovnovážných podmínek. Dynamika chemických reakcí a související termodynamické parametry během ozařování pulsním laserem budou monitorovány pomocí metody TRR v závislosti na tlouštce vrstvy kovu nebo izolantu a parametrech laserového pulsu. Struktura, elektronovástruktura, chemické složení a reflektivita výsledných produktů budou analyzovány běžnými metodami fyziky povrchů. Na základě porovnání teoretického modelu a experimentálních měření budou určeny termofyzikální a optické vlastnosti tenkých vrstev kovů a izlantů. Bude též proveden odhad teploty reakce a teploty tání na rozhraní kov-polovodič.
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - secondary branch
BJ - Thermodynamics
CEP - another secondary branch
BA - General mathematics
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10101 - Pure mathematics<br>10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20303 - Thermodynamics
Completed project evaluation
Provider evaluation
—
Project results evaluation
XXX
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1993
Realization period - end
Jan 1, 1995
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/1996/GA0/GA06GA/V/1:1
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
514 thou. CZK
Public financial support
1,028 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK