Investigation of plasmochemical reactions processes during a plasmochemical deposition of thin film on solid state

Provider

Czech Science Foundation

Programme

Standard projects

Call for proposals

—

Main participants

Masarykova univerzita

Contest type

—

Contract ID

—

Project name in Czech

Studium kinetiky plazmachemických reakcí a procesů depozice tenkých vrstev na pevných substrátech plazmachemickou cestou

Annotation in Czech

K vytváření tvrdých a supertvrdých vrstev využít rozpadajícího se plazmatu a vysokofrekvenčního výboje typu plasma jet. Prostudovat podmínky vzniku hexagonálního, kubického a amorfního BN. Vyšetřit základní vlastnosti depozitů a teplotní pole výbojů. Optimalizovat procesy. Pomocí elektronové paramagnetické rozonance měřit v dohasínajícím plazmatu reakční rychlostní konstanty, koeficienty stěnové rekombinace atomů H, N, O v závislosti na teplotě. Zaměřit se na reakce siloxanů a silazanů a s atomárním dusíkem a kyslíkem. Ověřit využití kombinovaného konvenčního hořáku se superponovaným vf polem jako atomizéru. Proměřit stupeň izotermičnosti v různých oblastech tohoto plazmatu. Diagnostiku plazmatu provádět i při depozicích a vyhodnocovat současně vlastnosti vzniklých substrátů.

R&D category

—

CEP classification - main branch

BL - Plasma physics and discharge through gases

CEP - secondary branch

BH - Optics, masers and lasers

CEP - another secondary branch

BN - Astronomy and celestial mechanics, astrophysics

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>10308 - Astronomy (including astrophysics,space science)

Provider evaluation

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Project results evaluation

Projekt přispěl k porozumění interakce plazma-stěna a mechanizmu vzniku elektrických výbojů. Charakteristiska výsledků je adekvátně uvedena v Závěrečné kartě projektu. Projekt má význam pro aplikace (depozice tvrdých ochranných vrstev) a byl významně vyu

Realization period - beginning

Jan 1, 1996

Realization period - end

Jan 1, 1998

Project status

U - Finished project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP/1999/GA0/GA09GA/V/6:6

Data delivery date

—

Total approved costs

2,834 thou. CZK

Public financial support

589 thou. CZK

Other public sources

0 thou. CZK

Non public and foreign sources

0 thou. CZK