Study of the interaction of chemically active plasmas with solid surfaces at medium and higher pressures
Project goals
In the project the complete process of the plasma-solid interaction in chemically active plasmas will be studied by the combination of three approaches - experimental, theoretical and computational. This process consists of following parts: physical andchemical processes in the bulk of plasma, sheath formation and the transport of charged particles through the sheath, physical processes on the surfaces of immersed substrates, transport of charged particles from the plasma through the growing dielectricfilms, morphological analysis of arising layers and plasma-modified surfaces. The study of the plasma-solid intraction will be performed both at low and higher pressures of plasma. The main task of the project will be the understanding of physical and chemical processes taking place during the plasma-solid interaction and the application of derived results in the analysis of probe diagnostics of plasma as wel as in plasma-assisted technologies.
Keywords
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 13 (SGA02010GA-ST)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
P205-10-0979
Alternative language
Project name in Czech
Studium interakce chemicky aktivního plazmatu s povrchy pevných látek při středních a vyšších tlacích
Annotation in Czech
V předloženém projektu je navrženo studium úplného procesu interakce chemicky aktivního plazmatu s povrchy vnořených pevných látek a to kombinací tří přístupů - experimentálního, teoretického a počítačového. Tento proces se skládá z následujících částí:fyzikální a chemické procesy v objemu plazmatu, vytváření stínící vrstvy na rozhraní plazma-pevná látka a přechod nabitých částic přes ní, fyzikální procesy na povrchu vnořeného substrátu, transport částic pocházejících z plazmatu rostoucí dielektrickouvrstvou, morfologická analýza vznikajících vrstev a plazmatem modifikovaných povrchů. Studium interakce plazma-pevná látka bude prováděno při nízkých i při zvýšených tlacích plazmatu. Hlavním úkolem projektu bude pochopení fyzikálních a chemických procesů probíhajících během interakce plazmatu s vnořenými substráty s cílem aplikovat dosažené výsledky jak na sondovou diagnostiku plazmatu tak i na plazmatické technologie.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - another secondary branch
—
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Authors developed a computational method for analysis of chemical processes in plasma where almost all results were confirmed experimentally. Results contributed to better understanding of physico-chemical processes in plasma-solid state interactions. Sufficient number of impacted publication in relevant journals have followed the results. Education of doctorands made a part of the project.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2010
Realization period - end
Dec 31, 2013
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Jun 12, 2013
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP14-GA0-GA-U/01:1
Data delivery date
Jul 1, 2014
Finance
Total approved costs
1,879 thou. CZK
Public financial support
1,879 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Basic information
Recognised costs
1 879 CZK thou.
Public support
1 879 CZK thou.
100%
Provider
Czech Science Foundation
CEP
BL - Plasma physics and discharge through gases
Solution period
01. 01. 2010 - 31. 12. 2013