An investigation of low-temperature plasma in systems of a planar magnetron, in systems with hollow cathodes and a microwave surfatron
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Post-graduate (doctorate) grants
Call for proposals
Postdoktorandské granty 9 (SGA02009GA1PD)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
202/09/P159
Alternative language
Project name in Czech
Výzkum parametrů nízkoteplotního plazmatu v systémech planárního magnetronu, systémů s dutými katodami a mikrovlnného surfatronu
Annotation in Czech
Cílem projektu bude využití několika diagnostických metod plazmatu (Langmuirova sonda, kalorimetrická sonda, energetický analyzátor iontu, laserova absorpční spektroskopie, optická emisní spektroskopie) za účelem srovnávacího výzkumu vlastností technologických plazmatických depozičních systémů.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
The project was excellent, both in terms of expertise and in terms of disbursement of funds.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2009
Realization period - end
Dec 31, 2011
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Apr 16, 2011
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP12-GA0-GP-U/03:3
Data delivery date
May 2, 2016
Finance
Total approved costs
719 thou. CZK
Public financial support
719 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK