Laser plasma as a source of ions for direct implantation
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
Grants of distinctly investigative character focused on the sphere of research pursued at present particularly in the Academy of Sciences of the Czech Republic
Call for proposals
—
Main participants
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Laserové plasma jako zdroj iontů pro přímou implantaci
Annotation in Czech
Laserové plasma jako zdroj iontů s různým nábojem a s rozdílnou kinetickou energií bude studováno se zřetelem na přímou implantaci iontů do kovů nebo jiných pevných látek za účelem modifikace jejich povrchových vlastností. Cílem projektu je porovnání vlastností plasmatu generovaného intensivním laserovým zářením o různých vlnových délkách (blízké IČ, viditelné, UV) a o různé délce pulsu (300 ps - 20 ns) a posouzení, zda laserový iontový zdroj může být využit pro implantaci zejména kovových iontů a zda je efektivnější a levnější než klasické iontové zdroje.
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Laserové plazma je nejefektivnějším zdrojem iontů. V závislosti na deponovaném laserovém výkonu do fokusační stopy lze ovlivňovat nábojové číslo, energii i počet emitovaných iontů. Hloubka přímé implantace jsou stovky nm až mikrom pro různé materiály.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1998
Realization period - end
Jan 1, 2000
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2001/AV0/AV01IA/U/N/4:2
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
5,055 thou. CZK
Public financial support
1,107 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK