Study of ultrathin films and their systems deposited by rf magnetron sputtering

Provider

Academy of Sciences of the Czech Republic

Programme

Grants of distinctly investigative character focused on the sphere of research pursued at present particularly in the Academy of Sciences of the Czech Republic

Call for proposals

—

Main participants

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

Contest type

—

Contract ID

—

Project name in Czech

Studium ultratenkých vrstev a jejich soustav připravených rf magnetronovým naprašováním

Annotation in Czech

Ultratenké vrstvy a soustavy těchto vrstev budou připraveny pomocí rf magnetronového naprašování. Kvalita vrstev v závislosti na depozičních podmínkách a drsnosti podložky bude zkoumána především úhlově a spektrálně závislou imerzní elipsometrií a profilometrií. Základním předmětem výzkumu bude drsnost rozhraní mezi vrstvami a spojitost vrstev.

R&D category

—

CEP classification - main branch

BH - Optics, masers and lasers

CEP - secondary branch

BM - Solid-state physics and magnetism

CEP - another secondary branch

—

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Realization period - beginning

Jan 1, 1995

Realization period - end

Jan 1, 1997

Project status

K - Ending multi-year project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP/1997/AV0/AV07IA/V/9:4

Data delivery date

—

Total approved costs

396 thou. CZK

Public financial support

396 thou. CZK

Other public sources

0 thou. CZK

Non public and foreign sources

0 thou. CZK