Study of the processes in the plasma created in Ar-N(2)-CH(4) mixture

Provider

Academy of Sciences of the Czech Republic

Programme

Grants of distinctly investigative character focused on the sphere of research pursued at present particularly in the Academy of Sciences of the Czech Republic

Call for proposals

—

Main participants

Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v. v. i.

Contest type

—

Contract ID

—

Project name in Czech

Studium procesů v plazmatu vytvořeném ve směsi Ar-N(2)-CH(4)

Annotation in Czech

Plazmochemické procesy budou studovány v mikrovlnném a DC výbojích, a to jak v jejich aktivní části, tak i během dohasínání. V dohasínání bude navíc studována závislost těchto dějů na teplotě. Plazmochemické reakce budou studovány pomocí emisních spekter, na jejichž základě je možné určit procesy, které v plazmatu probíhají. Ke studiu byla zvolena směs argonu s dusíkem s malou příměsí metanu, neboť směs dusíku s argonem je užívána v průmyslové aplikaci a směs metanu s čistým dusíkem byla předmětem mýchdosavadních výzkumů. Jde tedy o rozšíření dosavadních výsledků do v průmyslu použitelné podoby. V rámci experimentální práce se rovněž počítá s využitím dalších metod diagnostiky plazmatu jako jsou hmotnostní spektroskopie a synchronní detekce. Součástívýzkumu by měl být rovněž pokus o počítačové simulovní pozorovaných plazmochemických procesů. Vzhledem k rozpracovanosti studia je předpoklad jeho zdárného završení během trvání grantu.

R&D category

—

CEP classification - main branch

BL - Plasma physics and discharge through gases

CEP - secondary branch

—

CEP - another secondary branch

—

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Realization period - beginning

Jan 1, 1996

Realization period - end

Jan 1, 1996

Project status

U - Finished project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP/1997/AV0/AV07IA/V/9:4

Data delivery date

—

Total approved costs

0 thou. CZK

Public financial support

0 thou. CZK

Other public sources

0 thou. CZK

Non public and foreign sources

0 thou. CZK