Nanometrology using methods of scanning probe microscopy
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
Nanotechnologies for Society
Call for proposals
Nanotechnologie pro společnost 2 (SAV02007-N)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
KAN311610701
Alternative language
Project name in Czech
Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
Annotation in Czech
Cílem projektu je rozvoj metod rastrovací sondové mikroskopie se zaměřením na následující oblasti: 1) vývoj metod přesného interferometrického měření malých délek, 2) přímá návaznost měření délky a tvaru nanostruktur na státní etalony délky, 3) kvantitativní měření mechanických vlastností nanostruktur v kombinaci mikroindentace, nanoindentace a rastrovací sondové mikroskopie, 4) vývoj teoretických modelů interakce hrotu a povrchu v oblasti rastrovací sondové mikroskopie a nanoindentace. Rozvojem těchtometod bude vytvoreno unikátní pracoviště zabývající se kvantitativní sondovou mikroskopií.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Set of tools for traceability in small dimensional, force and local mechanical properties measurements was developed, including metrological SPM with six-axis interferometric system, nanoindentation reference samples and calibration procedures.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2007
Realization period - end
Dec 31, 2011
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Mar 18, 2011
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP12-AV0-KA-U/01:1
Data delivery date
Mar 21, 2012
Finance
Total approved costs
21,074 thou. CZK
Public financial support
18,713 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
2,361 thou. CZK