Theory and calculations of electron scattering for needs of nanolithography
Public support
Provider
Ministry of Education, Youth and Sports
Programme
COST CZ
Call for proposals
COST CZ 4 (SMSM2014LD4)
Main participants
Ústav fyzikální chemie J. Heyrovského AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
MSMT-8634/2014-1
Alternative language
Project name in Czech
Teorie a výpočty elektronového rozptylu pro potřeby nanolitografie
Annotation in Czech
Cílem Akce CM1301 je pokročit ve výzkumu natolik, aby EU měla realný předpoklad stát se lídrem ve vývoji a průmyslové nanofabrikace. Rozumí se tím dokonalejěí způsob průmyslové výroby chipů, které nacházejí použití např. ve fotovoltaice, medicině, telekomunikacích nebo monitorování životního prostředí, abychom jmenovali alespoň některé aplikace. Součinnost badatelů z komerčních firem a základního výzkumu v jedné Akci je dobrým předpokladem pro bezprostřední přenos znalostí z laboratoří do výrobních zkušeben. Cílem programu našeho předloženého návrhu je přispět k uskutečnění tohoto plánu svou znalostí kvantové teorie elektronového rozptylu a výpočtů námi vyvinutým softwarem. Předmětem našeho výzkumu i celé Akce jsou nanočástice a jejich interakce s elektrony, tedy objekty a jevy mikrosvěta, k jejichž popisu a porozumění je třeba použít metod kvantové teorie. Oprávněně můžeme říci, že jen v málo oborech vědy je tak těsná a plodná spolupráce teorie a experimentu jako v tomto případě. Pracujeme v oboru už řadu let a jsme dobře obeznámeni se stavem výzkumu v Evropě i jinde ve světě. Jsme přijímáni jako odborníci na problematiku elastických a hlavně vibračně neelastických srážek elektronů s polyatomovými molekulami. To se dobře hodí pro záměry Akce CM1301, protože jako perspektivní technologii si Akce zvolila způsob FEBID, ve kterém jsou hnací silou procesu neelastické srážky elektronů s molekulami. Mnohé podrobnosti mechanismu FEBID nejsou ještě dobře známy a k jejich porozumění bude potřeba společného úsilí v teorii i experimentu. Náš vlastní projekt má výhodu oproti projektům experimentálních partnerů v tom, že je finančně nenáročný. Požádovaná dotace pokryje naše potřeby pro úspěšnou realizaci naplánovaných ůkolú.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
CF - Physical chemistry and theoretical chemistry
CEP - secondary branch
BE - Theoretical physics
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10301 - Atomic, molecular and chemical physics (physics of atoms and molecules including collision, interaction with radiation, magnetic resonances, Mössbauer effect)<br>10403 - Physical chemistry
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Development and implementation of the RAC method (Regularized Analytic Continuation) for determination of the resonance parameters of polyatomic molecules and its application on diacetylene, cyclopropane, and AuClCO. Development of the DMR method for vibrationally inelastic collisions of electrons and precursor molecules. Its application on molecules of cyclopropane, diacetylene, and AuClCO.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 25, 2014
Realization period - end
May 31, 2017
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 28, 2017
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP18-MSM-LD-U/04:1
Data delivery date
Nov 21, 2018
Finance
Total approved costs
2,033 thou. CZK
Public financial support
2,033 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK