Magnetron sputtering of thin films

Provider

Ministry of Education, Youth and Sports

Programme

KONTAKT

Call for proposals

—

Main participants

Západočeská univerzita v Plzni / Fakulta aplikovaných věd

Contest type

VS - Public tender

Contract ID

—

Project name in Czech

Magnetronové napracování tenkých vrstev

Annotation in Czech

Hlavním cílem projektu je vývoj nové generace materiálů na bázi magnetronově napracovaných nanokompozitních povlaků. Projekt se soustředí na řešení následujících problémů: 1. Výzkum fyzikální podstaty vytváření nanokrystalických, dvou a více fázových nanokompozitních vrstev, zejména mechanismů zastavujících růst zrn, procesu selektivního reaktivního magnetronového napracování, segregace atomu na hranicích zrn při nízkých teplotách blízkých k teplotě pokojové, tepelné stability povlaku a závislosti vlastnosti vrstev na rozměrech zrn. 2. Vývoj nové generace tvrdých nanokompozitních povlaků obsahujících velmi tvrdá nanokrystalická zrna uložená v měkké i tvrdé matrici, např. CrN/Ni, ZrN/Cu, TiN/Cu,Ni,Co, TiN/Si3N4. 3.Vývoj nových napracovacích systémůpro vytváření nanokrystalických a nanokompozitních vrstev.

R&D category

—

CEP classification - main branch

BL - Plasma physics and discharge through gases

CEP - secondary branch

JJ - Other materials

CEP - another secondary branch

—

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Provider evaluation

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Project results evaluation

Projekt přispěl k rozvoji poznání v oblasti vytváření tvrdých nanostrukturních povlaků.

Realization period - beginning

Jan 1, 1998

Realization period - end

Jan 1, 2002

Project status

U - Finished project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP/2003/MSM/MSM3ME/U/N/8:4

Data delivery date

May 22, 2009

Total approved costs

10,600 thou. CZK

Public financial support

2,100 thou. CZK

Other public sources

0 thou. CZK

Non public and foreign sources

7,400 thou. CZK