Determination of refractive index profiles on thin film sensor active layers
Public support
Provider
Ministry of Education, Youth and Sports
Programme
KONTAKT
Call for proposals
KONTAKT 1 (SMSM200132001)
Main participants
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Určování profilů indexu lomu tenkých vrstev v tenkovrstvých senzorech
Annotation in Czech
Na základě komplexních výpočtů založených na měřeních spektrální elipsometrie s proměnným úhlem dopadu budou určovány tloušťkové profily indexu lomu aktivních vrstev senzorů. Konkrétně především samopolarizované PZT vrstvy určené pro IR senzory, které lze použít pro detekci škodlivých plynů, osob v prostoru a pro tepelné zobrazování. Dále budou měřeny polymerní vrstvy určené pro realizaci bimorfních piezorezistivních senzorů, které lze použít pro detekci relativní vlhkosti, koncentrace CO2 a oxidů dusíku. Výsledky měření aktivních vrstev senzorů budou korelovány s dalšími fyzikálními vlastnostmi vrstev např. s průběhem profilu spontánní polarizace PZT vrstev, který je určován metodou modulace intenzity laserového záření. Získané výsledky budou použitypro další vývoj senzorů.
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - secondary branch
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
CEP - another secondary branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Pomocí numerických kodů vyřešena elipsometrická charakterizace systémů vrstev PZT(PbZr1-xTixO3) a uibtivě unokatbivabžcg abutitriobžcg oikynerbácg vrstev určených pro tenkovrsvé senzorové aplikace.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2001
Realization period - end
Jan 1, 2003
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2004/MSM/MSM4ME/U/N/4:2
Data delivery date
Jun 3, 2008
Finance
Total approved costs
2,879 thou. CZK
Public financial support
680 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
2,199 thou. CZK