Development of Technology and Software for Diamond-Like Carbon Deposition in Large Scale Plasma Reactors

Provider

Ministry of Education, Youth and Sports

Programme

KONTAKT

Call for proposals

KONTAKT 1 (SMSM200132001)

Main participants

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

Contest type

VS - Public tender

Contract ID

—

Project name in Czech

Vývoj technologie a software pro nanášení vrstev tvrdého uhlíku v plazmových reaktorech velkých rozměrů

Annotation in Czech

Hlavním cílem je experimentální studium plazmových parametrů výbojů ve směsích plynů obsahujících uhlík (např. Ar+CH4) a jejich vlivu na proces nanášení tenkých vrstev v plazmových reaktorech. Zkoumány budou (i) výboj s mikrovlnnou ECR (elektronová cyklotronová rezonance) excitací a (ii) výboj kruhového planárního magnetronu. Konkrétně bude pomocí hmotnostní spektrometrie s energetickým rozlišením určeno složení a energie toku iontů na podložku v širokých mezích výbojových parametrů, především složení acelkového tlaku pracovního plynu, výbojového příkonu, stejnosměrného a radio-frekvenčně generovaného předpětí na podložce.

R&D category

—

CEP classification - main branch

BL - Plasma physics and discharge through gases

CEP - secondary branch

JJ - Other materials

CEP - another secondary branch

JK - Corrosion and material surfaces

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>20506 - Coating and films<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Provider evaluation

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Project results evaluation

Studovány vlastnosti plazmatu v mikrovlnné ECR výboji v systému s homotovým spektrometrem, ve ktterém byl simulovány podmínky při nanášení vsrstev.Složení neutrál.plynu a koncentace radikálu měřena v mikrovlnném ECR výboji ve směsi Ar/Ch4

Realization period - beginning

Jan 1, 2001

Realization period - end

Jan 1, 2003

Project status

U - Finished project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP/2004/MSM/MSM4ME/U/N/4:2

Data delivery date

Jun 3, 2008

Total approved costs

2,709 thou. CZK

Public financial support

1,070 thou. CZK

Other public sources

0 thou. CZK

Non public and foreign sources

1,639 thou. CZK