All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”
ME 455

Development of Technology and Software for Diamond-Like Carbon Deposition in Large Scale Plasma Reactors

Public support

  • Provider

    Ministry of Education, Youth and Sports

  • Programme

    KONTAKT

  • Call for proposals

    KONTAKT 1 (SMSM200132001)

  • Main participants

    Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

  • Contest type

    VS - Public tender

  • Contract ID

Alternative language

  • Project name in Czech

    Vývoj technologie a software pro nanášení vrstev tvrdého uhlíku v plazmových reaktorech velkých rozměrů

  • Annotation in Czech

    Hlavním cílem je experimentální studium plazmových parametrů výbojů ve směsích plynů obsahujících uhlík (např. Ar+CH4) a jejich vlivu na proces nanášení tenkých vrstev v plazmových reaktorech. Zkoumány budou (i) výboj s mikrovlnnou ECR (elektronová cyklotronová rezonance) excitací a (ii) výboj kruhového planárního magnetronu. Konkrétně bude pomocí hmotnostní spektrometrie s energetickým rozlišením určeno složení a energie toku iontů na podložku v širokých mezích výbojových parametrů, především složení acelkového tlaku pracovního plynu, výbojového příkonu, stejnosměrného a radio-frekvenčně generovaného předpětí na podložce.

Scientific branches

  • R&D category

  • CEP classification - main branch

    BL - Plasma physics and discharge through gases

  • CEP - secondary branch

    JJ - Other materials

  • CEP - another secondary branch

    JK - Corrosion and material surfaces

  • OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

    10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>20506 - Coating and films<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Completed project evaluation

  • Provider evaluation

    U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

  • Project results evaluation

    Studovány vlastnosti plazmatu v mikrovlnné ECR výboji v systému s homotovým spektrometrem, ve ktterém byl simulovány podmínky při nanášení vsrstev.Složení neutrál.plynu a koncentace radikálu měřena v mikrovlnném ECR výboji ve směsi Ar/Ch4

Solution timeline

  • Realization period - beginning

    Jan 1, 2001

  • Realization period - end

    Jan 1, 2003

  • Project status

    U - Finished project

  • Latest support payment

Data delivery to CEP

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

  • Data delivery code

    CEP/2004/MSM/MSM4ME/U/N/4:2

  • Data delivery date

    Jun 3, 2008

Finance

  • Total approved costs

    2,709 thou. CZK

  • Public financial support

    1,070 thou. CZK

  • Other public sources

    0 thou. CZK

  • Non public and foreign sources

    1,639 thou. CZK