Optimalization of laser thin film depositin systems
Public support
Provider
Ministry of Education, Youth and Sports
Programme
KONTAKT
Call for proposals
KONTAKT 1 (SMSM200132001)
Main participants
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Optimalizace laserových systémů depozice tenkých vrstev
Annotation in Czech
Cílem projektu je srovnání depozičních laserových zařízení obou partnerů, společné experimenty s cílem studia plazmových depozičních obláčků a depozice a charakterizace vybraných vrstev. Dále studium fyzikálních procesů a parametrů depozice obou unikátních zařízení a jejich vliv na tvorbu a kvalitu vrstev. Laboratoře mají různé lasery (KrF excimer x Nd : YAG), jiné optické a mechanické konfigurace depozičních komor a rozdílné možnosti přídavných RF a DC výbojů. Z materiálů se pozornost soustředí zejménana vrstvy CNx, na kovové multivrstvy Ti, Ti-W, Pt a na intermetalika FeAl a Ni3Al.
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
BH - Optics, masers and lasers
CEP - secondary branch
JK - Corrosion and material surfaces
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20506 - Coating and films
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Byly deponovány a charakterizovány intermetalika, kovové vrstvy a vrstvy velké CNX.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2001
Realization period - end
Jan 1, 2001
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2002/MSM/MSM2ME/U/N/4:4
Data delivery date
Mar 23, 2004
Finance
Total approved costs
100 thou. CZK
Public financial support
40 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
123 thou. CZK