Study of reactivity of organosilicon monomers in plasma environment

Project name in Czech
Studium reaktivity organosilikonových monomerů v depozičním plazmatu
Annotation in Czech
Bude studována depozice tenkých vrstev z plynné fáze v nízkotlakém plazmatu (technika PECVD) pomocí organosilikonových monomerů. Obzvlášrě se soustředíme na depozici nového druhu tvrdých, diamantu podobných, uhlíkových vrstev s malým obsahem kysličníku k, řemíku ze směsi metanu a organosilikonového monomeru, zvláště, hexametyldisiloxanu (HMDSO), případně s dalším přidáním vodíku nebo argonu. Budeme studovat zlepšení mechanických vlastností těchto vrstev a budeme je srovnávat s optickými vlastnostmi, struk, turou a složením vrstvy. Budeme určovat korelaci mezi optickými vlastnostmi a strukturou vrstvy a jejím složením v případě depozice oraganosilikových monomerů ze směsi HMDSO a kyslíku. Dále provedeme experimenty s PECVD za atmosférického tlaku s použitím, HMDSO, abychom našli nějaké optomální podmínky pro takový nový druh depoziční techniky. V závislosti na těchto depozičních experimentech budeme studovat rychlostní konstanty HMDSO.

R&D category
NV - Nonindustrial research (Applied research excluded Industrial research)
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
CC - Organic chemistry
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>10401 - Organic chemistry

Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Studied reactivity of monomers

Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP06-MSM-ME-U/04:2
Data delivery date
May 28, 2008

Project goals