New resources of plasma for creation of thiny layers.
Public support
Provider
Ministry of Education, Youth and Sports
Programme
KONTAKT
Call for proposals
KONTAKT 3 (SMSM200300003)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
25 735/2003-32
Alternative language
Project name in Czech
Nové zdroje plazmatu pro vytváření tenkých vrstev
Annotation in Czech
Předmětem navrženého projektu je výzkum nových systémů pro přípravu tenkých vrstev v plazmatu s cílem vytvořit nové materiály unikátních vlastností, objasnit složité procesy při jejich přípravě a zvýšit rychlost jejich vytváření.
Scientific branches
R&D category
NV - Nonindustrial research (Applied research excluded Industrial research)
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
New results in the fields of high-power pulsed magnetron sputtering of metallic fílms (Cu,Ti) and of pulsed reactive magnetron deposition of photocatalytic Ti02 fílms and Al-Si-N fílms with high thermal stability were achieved (12papers in inter.joumals)
Solution timeline
Realization period - beginning
Oct 1, 2003
Realization period - end
Dec 31, 2007
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Mar 26, 2007
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP08-MSM-ME-U/02:2
Data delivery date
Oct 27, 2008
Finance
Total approved costs
1,326 thou. CZK
Public financial support
1,146 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
180 thou. CZK