Preparation of Wear Resistant Low Friction Coatings by Magnetrons and RF Plasma-Chemical Systems with Hollow Cathodes

Provider

Ministry of Education, Youth and Sports

Programme

COST

Call for proposals

—

Main participants

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

Contest type

—

Contract ID

—

Project name in Czech

Příprava otěruvzdorných vrstev s nízkým třením pomocí magnetronů a RF plazma-chemických systémů s dutými katodami

Annotation in Czech

Hlavním cílem projektu je vývoj technologií přípravy otěruvzdorných vrstev s nízkým koeficientem tření. Tyto vrstvy budou deponovány pomocí RF a DC magnetronů a pomocí RF plazma-chemických systémů s několika dutými katodami. Připravované jedno- a vícevrstvé struktury, případně vrstvy z kompozitních materiálů a jejich kombinace musí mít vysokou tvrdost, dobrou přilnavost , malé vnitřní pnutí, nízký třecí koeficient a vysokou odolnost proti otěru. Budou připravovány vrstvy Ti-, Zr-, W-C:H, DLC, CNx, CNxHy, CNxOy, Cu3N, AlN, Al2O3 a pod. Bude objasňována fyzikální podstata tribologických vlastností vrstev. Budou optimalizovány technologické parametry k dosažení požadovaných charakteristik.

R&D category

—

CEP classification - main branch

BM - Solid-state physics and magnetism

CEP - secondary branch

BL - Plasma physics and discharge through gases

CEP - another secondary branch

JK - Corrosion and material surfaces

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20506 - Coating and films

Provider evaluation

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Project results evaluation

Projekt byl úspěšně ukončen (viz závěrečná zpráva).

Realization period - beginning

Jan 1, 1998

Realization period - end

Jan 1, 2000

Project status

U - Finished project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP/2001/MSM/MSM1OC/U/N/2:1

Data delivery date

—

Total approved costs

1,490 thou. CZK

Public financial support

1,040 thou. CZK

Other public sources

0 thou. CZK

Non public and foreign sources

0 thou. CZK