Investigation of the influence of the discharge excitation type on the properties of the deposited films

Provider

Ministry of Education, Youth and Sports

Programme

COST

Call for proposals

COST 1 (SMSM200132004)

Main participants

Technická univerzita v Liberci / Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií

Contest type

VS - Public tender

Contract ID

—

Project name in Czech

Studium vlivu typu výboje na vlastnosti deponovaných vrstev

Annotation in Czech

Při depozičních plazmových procesech se využívá různorodých typů excitace plazmatu, jako např. vysokofrekvenční a mikrovlnné výboje, pulsní výpoje. Na typu excitace plazmatu jsou závislé základní parametry plamatu, které následně určují vlastnosti deponovaných vrstev. Záměrem projektu je studium interních parametrů plasmatu v různých systémech a porovnání těchto parametrů s vlastnostmi deponovaných vrstev. Pozornost bude věnována především vysokofrekvenčnímu, mikrovlnnému a pulsně generovanému plazmatua nízkotlakému a vysokotlakému plasma jetu. Ke studiu bude využito především Langmuirovské sondy, monitoru toku iontů na substrát a optické spektroskopie. Vrstvy budou skoumány především následujícími metodami: FTIR, ESCA, SEM, FTM

R&D category

NV - Nonindustrial research (Applied research excluded Industrial research)

CEP classification - main branch

BL - Plasma physics and discharge through gases

CEP - secondary branch

BM - Solid-state physics and magnetism

CEP - another secondary branch

JJ - Other materials

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Provider evaluation

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Project results evaluation

It will completion after delivery data fellow

Realization period - beginning

Jan 1, 2000

Realization period - end

Jan 1, 2005

Project status

U - Finished project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP06-MSM-OC-U/04:2

Data delivery date

May 28, 2008

Total approved costs

6,347 thou. CZK

Public financial support

2,057 thou. CZK

Other public sources

0 thou. CZK

Non public and foreign sources

4,340 thou. CZK