Development of in-situ monitoring technologies for the control of advanced surface and materials processing systems

Provider

Ministry of Education, Youth and Sports

Programme

EUPRO

Call for proposals

—

Main participants

Masarykova univerzita

Contest type

—

Contract ID

—

Project name in Czech

Vyvoj monitorovacích in-situ technologií pro řízení pokročilých procesních systémů pro povrchy a materiály

Annotation in Czech

Vývoj monitorovacích technik pro pokročilé vakuové aparatury. Elipsometrie, rastrovací tunelová mikroskopie a hmotová spektroskopie. Procesní elipsometry s více vlnovými délkami světla. Vývoj programového vybavení pro procesní elipsometrii.

R&D category

—

CEP classification - main branch

BM - Solid-state physics and magnetism

CEP - secondary branch

—

CEP - another secondary branch

—

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Realization period - beginning

Jan 1, 1995

Realization period - end

Jan 1, 1998

Project status

K - Ending multi-year project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP/1998/MSM/MSM8OK/V/1:1

Data delivery date

—

Total approved costs

1,244 thou. CZK

Public financial support

663 thou. CZK

Other public sources

0 thou. CZK

Non public and foreign sources

0 thou. CZK