Development of in-situ monitoring technologies for the control of advanced surface and material processing systems - DISIMOT

Provider

Ministry of Education, Youth and Sports

Programme

EUPRO

Call for proposals

—

Main participants

Vysoké učení technické v Brně

Contest type

—

Contract ID

—

Project name in Czech

Vývoj in-situ monitorovacích technik pro řízení systémů pokročilých povrchových a materiálových technologií - DISIMOT

Annotation in Czech

Projekt se zabývá vývojem in-situ monitorovacích technik, určených k řízení pokročilých materiálových technologií v ultravakuových systémech využívajících k přímé depozici tenkých vrstev fokusované iontové svazky o nízké energii (E< 100 eV). K vyvíjenýmin-situ technikám patří spektroskopie rozptýlených iontů (LEIS), hmotnostní spektroskopie sekundárních iontů (SIMS), elipsometrie a mikroskopie na bázi detekce atomárních sil (AFM).

R&D category

—

CEP classification - main branch

BM - Solid-state physics and magnetism

CEP - secondary branch

BL - Plasma physics and discharge through gases

CEP - another secondary branch

JR - Other machinery industry

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20301 - Mechanical engineering

Realization period - beginning

Jan 1, 1996

Realization period - end

Jan 1, 1997

Project status

K - Ending multi-year project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP/1997/MSM/MSM7OK/V/9:4

Data delivery date

—

Total approved costs

2,654 thou. CZK

Public financial support

774 thou. CZK

Other public sources

0 thou. CZK

Non public and foreign sources

0 thou. CZK