SOI Structures for Advanced Semiconductor Applications
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
Programme of applied research and experimental development ALFA
Call for proposals
ALFA 1 (STA02011TA01)
Main participants
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
20110001
Alternative language
Project name in Czech
Struktury SOI pro pokročilé polovodičové aplikace
Annotation in Czech
1) Aplikovaný výzkum progresivních polovodičových materiálů a struktur a experimentální vývoj technologií jejich výroby se zaměřením na pokročilou technologii výroby Silicon-On-Insulator (SOI) a na bonding křemíkových desek pro SOI. 2) Aplikovaný výzkuma vývoj nových metod charakterizace objemových i povrchových vlastností polovodičových materiálů a struktur (IR kamera pro měření kvality bondingu, komplexní metrologie struktury SOI, měření doby života minoritních nositelů náboje).
Scientific branches
R&D category
VV - Exeperimental development
CEP classification - main branch
JJ - Other materials
CEP - secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - another secondary branch
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The main material results (G-functional sample / prototype, Z-proven technology) were met at a high technical level and to the extent necessary for the successful implementation of the project beyond the original assignment. Two results of the P-patent type have not been achieved by the date of conclusion?
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2011
Realization period - end
Dec 31, 2013
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 28, 2012
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP14-TA0-TA-U/03:1
Data delivery date
Jul 3, 2020
Finance
Total approved costs
40,675 thou. CZK
Public financial support
20,912 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
19,763 thou. CZK