Process monitoring and failure analysis solutions for energy-efficient devices and products in microelectronics
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
Programme of applied research and experimental development EPSILON
Call for proposals
EPSILON 4 (STA02018TH040)
Main participants
CRYTUR, spol. s r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
TH04010525 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternative language
Project name in Czech
Procesní monitorování a poruchová analýza pro energeticky účinná zařízení a mikroelektronické výrobky
Annotation in Czech
Projekt má dva záměry. Prvním cílem je vyvinout rtg kameru pro nanoXCT systém se světově špičkovým prostorovým rozlišením pod 100 nm a vysokým aplikačním potenciálem směřovaným do elektrotechnického průmyslu. V průběhu tří let vzniknou dva funkční vzorky, scintilační detektor a rtg kamera. Kamera bude chráněna průmyslovým vzorem. Druhým cílem je vyvinout metodiku korelativní tomografické analýzy struktur. Důraz bude kladen na integraci a testování pracovních postupů při analýze materiálů a struktur mikroelektronických součástek. Účelem projektu je podpora spolupráce partnerů s německým partnerem IKTS. Výsledek umožní vznik rtg. tomografu (nanoXCT) a metod pro inspekci defektů mikroelektronických součástek.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
OECD FORD - main branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
OECD FORD - secondary branch
21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)
OECD FORD - another secondary branch
20501 - Materials engineering
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
BH - Optics, masers and lasers<br>JG - Metallurgy, metal materials<br>JJ - Other materials<br>JP - Industrial processes and processing
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
These are preliminary data, the project evaluation hasn´t proceeded yet.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2019
Realization period - end
Dec 31, 2021
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 28, 2021
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP22-TA0-TH-U
Data delivery date
Jun 30, 2022
Finance
Total approved costs
20,988 thou. CZK
Public financial support
12,390 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
8,598 thou. CZK