Development of the High Energy Ultra-Violet Pulse Laser System for Semiconductor Laser Anneal Processing

Project name in Czech
Vývoj laserového systému generujícího vysokoenergetické pulzy v ultrafialové oblasti pro použití v průmyslu laserového žíhání polovodičů
Annotation in Czech
Cílem projektu je vyvinout funkční laser, který bude poskytovat vysokoenergetické nanosekundové pulzy v infračervené (1064 nm), viditelné (532 nm) a ultrafialové (355 nm) oblasti spektra, který bude použitelný pro laserové žíhání polovodičů. Laser o energii pulzu 10 J a opakovací frekvenci 10 Hz, vyvinutý korejskými partnery, bude poskytovat svazek pro konverzní modul generující svazky kratších vlnových délek s energií pulzů do 5 J pro svazek 532 nm a do 3 J pro svazek 355 nm. Konverzní modul bude vycházet z optickém schématu, v jehož rámci budou vybrány komponenty s vysokým prahem poškození. Cílem mechanického návrhu bude určit rozložení komponent včetně jejich stabilního uchycení a zakrytování celého modulu. Integrace s laserem bude zahrnovat i systém řízení a bezpečnosti.

R&D category
AP - Applied research
OECD FORD - main branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
OECD FORD - secondary branch
20201 - Electrical and electronic engineering
OECD FORD - another secondary branch
20206 - Computer hardware and architecture
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
BH - Optics, masers and lasers<br>JA - Electronics and optoelectronics<br>JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation<br>JC - Computer hardware and software

Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The project fulfilled its mission and achieved the set goals. The expertise of the researchers was obvious and the results achieved represent the current limits in the field of high-performance optical systems. The commercial potential for the future is certainly significant and there is a very significant connection to major companies in Korea, which opens a new market segment for the main researcher, Narran s.r.o. A certain negative of the project is the achievement of only two functional samples and a utility model with a relatively high level of public support, i.e. the ideal result of the project would be a prototype, a proven technology or filing of patent protection for such a fundamental result/product. Overall, international cooperation has deepened and the competitiveness of the main applicant has been significantly strengthened. The commission agrees that international cooperation was fulfilled and the project can be considered successful.

Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP26-TA0-TM-U
Data delivery date
Jun 5, 2026

Similar projects(10)