Development of the High Energy Ultra-Violet Pulse Laser System for Semiconductor Laser Anneal Processing
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
—
Call for proposals
3.VS DELTA 2 (STA02022TM030)
Main participants
Narran s.r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
TM03000045 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternative language
Project name in Czech
Vývoj laserového systému generujícího vysokoenergetické pulzy v ultrafialové oblasti pro použití v průmyslu laserového žíhání polovodičů
Annotation in Czech
Cílem projektu je vyvinout funkční laser, který bude poskytovat vysokoenergetické nanosekundové pulzy v infračervené (1064 nm), viditelné (532 nm) a ultrafialové (355 nm) oblasti spektra, který bude použitelný pro laserové žíhání polovodičů. Laser o energii pulzu 10 J a opakovací frekvenci 10 Hz, vyvinutý korejskými partnery, bude poskytovat svazek pro konverzní modul generující svazky kratších vlnových délek s energií pulzů do 5 J pro svazek 532 nm a do 3 J pro svazek 355 nm. Konverzní modul bude vycházet z optickém schématu, v jehož rámci budou vybrány komponenty s vysokým prahem poškození. Cílem mechanického návrhu bude určit rozložení komponent včetně jejich stabilního uchycení a zakrytování celého modulu. Integrace s laserem bude zahrnovat i systém řízení a bezpečnosti.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
OECD FORD - main branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
OECD FORD - secondary branch
20201 - Electrical and electronic engineering
OECD FORD - another secondary branch
20206 - Computer hardware and architecture
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
BH - Optics, masers and lasers<br>JA - Electronics and optoelectronics<br>JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation<br>JC - Computer hardware and software
Solution timeline
Realization period - beginning
Mar 1, 2022
Realization period - end
Feb 28, 2025
Project status
B - Running multi-year project
Latest support payment
Feb 28, 2023
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP24-TA0-TM-R
Data delivery date
Feb 20, 2024
Finance
Total approved costs
25,601 thou. CZK
Public financial support
20,027 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
6,553 thou. CZK