Top-Side Electrical Failure Analysis for Advanced Semiconductor Nodes
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
—
Call for proposals
—
Main participants
NenoVision s.r.o.
Contest type
M2 - International cooperation
Contract ID
TQ31000003 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternative language
Project name in Czech
Pokročilá charakterizace vad pokročilých polovodičových součástek
Annotation in Czech
Cílem projektu je vyvinout, zkonstruovat a připravit k komercializaci další generaci atomárního silového mikroskopu integrovaného do rastrovacího elektronového mikroskopu (AFM-in-SEM), určeného pro pokročilou analýzu poruch polovodičových součástek. Tato platforma umožní vysoce-rozlišovací elektrické mapování z vrchní strany bez potřeby destruktivních kontaktů ze spodní strany. Kombinuje dvě průlomové metody — Electron-Beam Conductive AFM (EBC-AFM) a Electron-Beam Scanning Spreading Resistance Microscopy (EB-SSRM) — doplněné o nový nanoprobovací modul pro flexibilní přivádění elektrického biasu z horní strany. Nové třívrstvé samo-snímací sondy s nanokrystalickou diamantovou (NCD) špičkou zajistí dlouhou životnost a vysokou reprodukovatelnost měření. Výsledná platforma poskytne bezkonkurenční rychlost, stabilitu a přesnost pro analýzu tranzistorů typu Gate-All-Around (GAA) a nanosheet tranzistorů.
Scientific branches
R&D category
VV - Exeperimental development
OECD FORD - main branch
21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)
OECD FORD - secondary branch
20501 - Materials engineering
OECD FORD - another secondary branch
20302 - Applied mechanics
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
GB - Agricultural machines and construction<br>JG - Metallurgy, metal materials<br>JJ - Other materials<br>JP - Industrial processes and processing<br>JQ - Machinery and tools
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2026
Realization period - end
Dec 31, 2027
Project status
Z - Beginning multi-year project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP26-TA0-TQ-R
Data delivery date
Apr 1, 2026
Finance
Total approved costs
9,170 thou. CZK
Public financial support
6,420 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
2,751 thou. CZK