Measurements of the Plasma Parameters in RF Torch Discharge Used for Deposition of Oxide Thin Films

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F06%3A00002880" target="_blank" >RIV/00216208:11320/06:00002880 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Measurements of the Plasma Parameters in RF Torch Discharge Used for Deposition of Oxide Thin Films
Original language description
Measurements of the Plasma Parameters in RF Torch Discharge Used for Deposition of Oxide Thin Films
Czech name
Měrení parametrů plazmatu v radiofrekvenčním pochodňovém výboji použitém pro depozici kysličníkových tenkých vrstev
Czech description
Měrení parametrů plazmatu v radiofrekvenčním pochodňovém výboji použitém pro depozici kysličníkových tenkých vrstev

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
WDS´06 Proceedings of Contributed Papers:Part II-Physics of Plasmas and Ionized Media
ISBN
80-86732-85-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
6
Pages from-to
108-113
Publisher name
Matfyzpress
Place of publication
Prague
Event location
Prague
Event date
Jan 1, 2006
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—

Result description