Spatial Distribution of Species in an IPVD reactor
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F03%3A00025490" target="_blank" >RIV/00216224:14310/03:00025490 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Spatial Distribution of Species in an IPVD reactor
Original language description
Results of emission and absorption spectroscopy carried out in the IPVD reactor, consisting of magnetron sputtering device assisted by two antennas of microwave system are presented in this study. The results of the SEM analysis of deposited films are presented too.
Czech name
Prostorově rozložení částic v IPVD reactorem
Czech description
Výsledky optické emisní a absorpční spektroskopie z reaktoru obsahujícího magnetron a dvě mikrovlnné antény jsou diskutovány společně s výsledky vrstev z rastrovacího elektronového mikroskopu.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2003
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
WDS 03 Proceeding of Contributed Papers
ISBN
80-86732-18-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
—
Publisher name
MARFYZPRESS, vydavatelství Matematicko-fyzikální fakulty University Karlovy v Praze
Place of publication
Praha
Event location
Charles University in Prague, Faculty of Matema
Event date
Jun 10, 2003
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—