Project of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010943" target="_blank" >RIV/00216224:14310/04:00010943 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Project of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University

Original language description

The paper presents ideas, motivation and plans the the projection of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University.

Czech name

Projekt laboratoře čistých prostor pro křemíkovou technologii čipů na Masarykově univerzitě

Czech description

Práce popisuje myšlenky, motivaci a plán pro projekt laboratoře čistých prostor pro křemíkovou technologii čipů na Masarykově univerzitě.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Proceedings of International Conference Silicon-2004

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

2

Pages from-to

54-55

Publisher name

Karel Vojtěchovský

Place of publication

Rožnov pod Radhoštěm

Event location

Rožnov pod Radhoštěm

Event date

Jan 1, 2004

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—