Rate constant of HMDSO+O in plasma afterglow

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00021314" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00021314 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Rate constant of HMDSO+O in plasma afterglow
Original language description
The kinetics of the reaction between atomic oxygen and HMDSO was studied by means of the flowing afterglow technique. The HMDSO vapor was injected into the oxygen afterglow and the loss of O atoms as measured by means of a electron spin resonance spectrometer. From the known reaction time and HMDSO flow the rate constant was then calculated.
Czech name
Rychlostní koeficient reakce HMDSO+O v dohasínajícím plazmatu
Czech description
Kinetika reakce mezi atomárním kyslíkem a molekulami HMDSO byla studována v proudícím dohasínajícím plazmatu. Páry HMDSO byly zavedeny do kyslíkového dohasínajícího plazmatu a pokles koncentrace kyslíkových atomů byl měřen pomocí spektrometru elektronovéparamagnetické rezonance. Ze známých hodnot reakční doby a velikosti průtoku HMDSO byla vypočítána rychlostní konstanta shora uvedené reakce.

Project
<a href="/en/project/OC%20527.20" target="_blank" >OC 527.20: Plasmachemical depositions and plasmachemical treatment of surfaces of solid state substrate</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2005
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)