Energy Dependence of the Sensitivity of an Ion Energy and Mass Spectrometer

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F06%3A00015755" target="_blank" >RIV/00216224:14310/06:00015755 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/68081731:_____/06:00086162

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Energy Dependence of the Sensitivity of an Ion Energy and Mass Spectrometer

Original language description

The aim of this work was to estimate the energy dependence of the transmission function of an ion energy and mass spectrometer (Plasma Process Monitor PPM 421, Balzers). Firstly, the energy dependence of the critical angle for ions impinging on an orifice in the extraction hood was calculated. The critical angle is defined as the largest angle between the ion velocity and the optical axis of the entry ion optics enabling the ion to go through the entry optics into the energy analyzer. For the calculation the programs ELD and TRASYS were used. The transmission of the entry ion optics was evaluated by integrating the ion angle distribution (IAD) up to the critical angle. Since the IADs are usually not known, an approximate method for the IAD estimation was suggested. The method suppose that the ion velocity component perpendicular to the optical axis has Maxwell distribution and the longitudinal velocity component is increased in the sheath. It is suitable for low-pressure discharges, wh

Czech name

Závislost citlivosti hmotnostního a energiového spektrometru na energii iontů

Czech description

Práce se zabývá výpočtem závislosti citlivosti hmotnostního a energiového spektrometru (PPM 421, Balzers) na energii iontů vlétávajících do spektrometru. Nejdříve byla spočítána závislost &quot;kritického úhlu&quot; na energii iontů. Kritický úhel je maximální úhel mezi rychlostí iontu a optickou osou vstupní iontové optiky spektrometru, pod kterým může iont do spektrometru vletět, aby pronikl vstupní optikou do dalších částí spektrometru. Pro výpočet byly použity programy ELD a TRASYS. Propustnost vstupní iontové optiky byla spočítána integrací rozdělení úhlů dopadu iontů (IAD) až po kritický úhel. Protože IAD nejsou ve většině případů známá, byla navržena přibližná metoda výpočtu založená na předpokladu, že složky rychlosti iontů kolmé na optickou osu spektrometru mají Maxwellovo rozdělení, zatímco složka rychlosti rovnoběžná s optickou osou je zvýšena při průletu stěnovou vrstvou prostorového náboje. Metoda je vhodná zejména pro nízkotlaké výboje, ve kterých ve stěnové vrstvě nedoch

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GD202%2F03%2FH162" target="_blank" >GD202/03/H162: Advanced topics in physics and chemistry of plasmas</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Czechoslovak Journal of Physics B

ISSN

0011-4626

e-ISSN

—

Volume of the periodical

56

Issue of the periodical within the volume

1

Country of publishing house

CZ - CZECH REPUBLIC

Number of pages

5

Pages from-to

702-706

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—