Spectroscopic Ellipsometry as a Tool for On-Line Monitoring and Control of Surface Treatment Processes

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F06%3A00016820" target="_blank" >RIV/00216224:14310/06:00016820 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Spectroscopic Ellipsometry as a Tool for On-Line Monitoring and Control of Surface Treatment Processes

Original language description

Modern material technology relies increasingly on processes for surface modification and coating. Generally we are lacking a possibility to monitor the progress of such processes. Thus the outcome can only be analyzed after the end of the whole process cycle. We are proposing to use spectroscopic ellipsometry (SE) as an on-line monitoring tool. As an optical method, SE is not affected by high temperatures, process gases, plasmas, etc. SE can be used as a monitoring tool or a sensor for closed loop control of processes. The main difficulty is the on line interpretation of SE data. Depending on the nature of the process monitored or controlled, different models are used for the interpretation. These models predict the SE response depending on different parameters describing the surface under investigation. A fitting process is used to solve the inverse problem, i.e. extracting material data from the SE spectra. We expect increased process stability and shorter development time as a pract

Czech name

Spektroskopická elipsometrie jako nástroj pro on-line monitorování a řízení povrchových procesů

Czech description

Moderní materiálové technologie se stále více opírají o procesy modifikace povrchů a povrchových pokrytí. Obecně chybí možnost monotorování postupu takových procesů.Výsledek pak může být analyzován až po skončení procesního cyklu. Navrhujeme použití spektroskopické elipsometrie (SE) jako on-line nástroje monitorování. Jde o optickou metodu, která není ovlivněna vysokými teplotami, procesními plyny, plasmatem apod. Používáme prokládací proceduru k získání materiálových charakteristik z naměřených SE dat.Očekáváme zvýšenou stabilitu procesu a kratší vývojový čas jako praktický zisk z použití SE.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Materials Science Forum

ISSN

0255-5476

e-ISSN

—

Volume of the periodical

518

Issue of the periodical within the volume

4

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

8

Pages from-to

423

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—