Surface morphology of amorphous hydrocarbon thin films deposited in pulsed radiofrequency discharge

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F08%3A00024346" target="_blank" >RIV/00216224:14310/08:00024346 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Surface morphology of amorphous hydrocarbon thin films deposited in pulsed radiofrequency discharge
Original language description
Surface morphology of amorphous hydrocarbon thin films deposited in pulsed radiofrequency discharge
Czech name
Morfologie povrchu amorfních uhlíkových vrstev s příměsí vodíku deponované v pulzním radiofrekvenčním výboji
Czech description
Morfologie povrchu amorfních uhlíkových vrstev s příměsí vodíku deponované v pulzním radiofrekvenč

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—

Project
<a href="/en/project/KAN311610701" target="_blank" >KAN311610701: Nanometrology using methods of scanning probe microscopy</a><br>
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Result description