Convergence properties of critical dimension measurements by spectroscopic ellipsometry on gratings made of various materials

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216275%3A25310%2F06%3A00006119" target="_blank" >RIV/00216275:25310/06:00006119 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/61989100:27350/06:00016826 RIV/00216208:11320/06:00005602
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Convergence properties of critical dimension measurements by spectroscopic ellipsometry on gratings made of various materials
Original language description
Convergence properties of critical dimension measurements by spectroscopic ellipsometry on gratings made of various materials are presented
Czech name
Měření kritických rozměrů rozměrů mřížek z různých materiálů pomocí spktroskopické elipsometrie a jejich konvergenční chrakter
Czech description
Je popsáno měření kritických rozměrů rozměrů mřížek z různých materiálů pomocí spktroskopické elipsometrie a jejich konvergenční chrakter.

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—

Project
<a href="/en/project/GA202%2F06%2F0531" target="_blank" >GA202/06/0531: Reflection and waveguiding effects in magnetic nanostructures</a><br>
Continuities
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Result description