Method of thickness measuring of non-stationary thin layers and optical thickness meter

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216275%3A25310%2F08%3A00007895" target="_blank" >RIV/00216275:25310/08:00007895 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Způsob měření tloušťky nestacionárních tenkých vrstev a optický tloušťkoměr

Original language description

Způsob měření tloušťky nestacionárních tenkých transparentních i netransparentních vrstev spočívá v tom, že se na měřenouvrstvu i na její světelný difuzor, na němž je zkoumaná vrstva nanesena, promítá úzký světelný svazek pod úhlem dopadu (alfa) a vytvořené alespoň dvě světelné linie vzdálené o vzdálenost L se registrují optickým mikroskopem nebo CCD kamerou. Z naměřené vzdálenosti L se výpočtem nebo odečtem na kalibrované stupnici okuláru optického mikroskopu stanoví tloušťka transparentní i netransparentní zkoumané vrstvy. Optický tloušťkoměr pro měření nestacionárních transparentních i netransparentních tenkých vrstev sestává z optického projekčního systému tvořeného světelným zdrojem emitujícího monochromatické a/nebo bílé světlo a dále kondenzorema kolimátorem a mikrometricky stavitelnou štěrbinou, a z optického mikroskopu. Optická osa kolimátoru svírá s normálou vrstvy vzorku úhel dopadu (alfa), přičemž optický mikroskop je umístěn v ose normály vrstvy vzorku, umístěným na optic

Czech name

Způsob měření tloušťky nestacionárních tenkých vrstev a optický tloušťkoměr

Czech description

Způsob měření tloušťky nestacionárních tenkých transparentních i netransparentních vrstev spočívá v tom, že se na měřenouvrstvu i na její světelný difuzor, na němž je zkoumaná vrstva nanesena, promítá úzký světelný svazek pod úhlem dopadu (alfa) a vytvořené alespoň dvě světelné linie vzdálené o vzdálenost L se registrují optickým mikroskopem nebo CCD kamerou. Z naměřené vzdálenosti L se výpočtem nebo odečtem na kalibrované stupnici okuláru optického mikroskopu stanoví tloušťka transparentní i netransparentní zkoumané vrstvy. Optický tloušťkoměr pro měření nestacionárních transparentních i netransparentních tenkých vrstev sestává z optického projekčního systému tvořeného světelným zdrojem emitujícího monochromatické a/nebo bílé světlo a dále kondenzorema kolimátorem a mikrometricky stavitelnou štěrbinou, a z optického mikroskopu. Optická osa kolimátoru svírá s normálou vrstvy vzorku úhel dopadu (alfa), přičemž optický mikroskop je umístěn v ose normály vrstvy vzorku, umístěným na optic

Type

P - Patent

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Patent/design ID

299 672

Publisher

—

Publisher name

—

Place of publication

—

Publication country

—

Date of acceptance

Oct 8, 2008

Owner name

Fakulta chemicko-technologická Univerzity Pardubice

Method of use

A - Výsledek využívá pouze poskytovatel

Usage type

P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence