In situ measurements of surface homogenity of optical properties of thin films prepared by IBAD

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F01%3APU22626" target="_blank" >RIV/00216305:26210/01:PU22626 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

In situ plošné monitorování optických vlastnotí tenkých vrstev připravovaných metodou IBAD

Original language description

Článek se zabývá in situ měřením plošné homogenity optických vlastností tenkých vrstev SiO2 připravených metodou IBAD. Zařízení pracuje na principu spekrální odrazivosti. Rovněž je uvedeno několik příkladů aplikace.

Czech name

In situ plošné monitorování optických vlastnotí tenkých vrstev připravovaných metodou IBAD

Czech description

—

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2001

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Juniormat '01 sborník

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

3

Pages from-to

274-276

Publisher name

Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně

Place of publication

Brno

Event location

Brno,VUT-FSI

Event date

Sep 19, 2001

Type of event by nationality

CST - Celostátní akce

UT code for WoS article

—