Tips chip measuring unit

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F06%3APU61165" target="_blank" >RIV/00216305:26220/06:PU61165 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Tips chip measuring unit
Original language description
This article describes design and construction of the measuring part of the tip chip measuring unit, which was made out to ensure measurement of the tested chip parameters. It offers possibility to measuring on whole wafer by chip by chip method. The measuring unit consists of the 2D work-bench and eight apexes with autonomous 3D positioning system. The measuring part consists of few blocks - Current measuring, Resistance measuring and Capacity measuring.
Czech name
Hrotové měřicí zařízení
Czech description
Tento článek se zabývá popisem návrhu a konstrukce měřicí části hrotového měřicího určeného pro měření parametrů křemíkových čipů. Měřicí hrotové zařízení nabízí možnost měřit parametry křemíkových čipů kdekoli na jejich ploše. Měřicí zařízení obsahuje dvojosý pracovní a osm měřicích hrotů s vlastním posuvným systémem. Vlastní měřicí část zařízení se skládá z několika funčních bloků - Měření proudu, Měření odporu a kapacity.

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
EDS '06 IMAPS CS INTERNATIONAL CONFERENCE PROCEEDINGS
ISBN
80-214-3246-2
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
254-257
Publisher name
Vysoké učení technické v Brně, Antonínská 548/1
Place of publication
Brno
Event location
Brno
Event date
Sep 14, 2006
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)