Optimization of secondary electron detection by segmental ionization detector in environmental SEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F07%3APU68163" target="_blank" >RIV/00216305:26220/07:PU68163 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Optimization of secondary electron detection by segmental ionization detector in environmental SEM

Original language description

The article deals with a prezentation of results of optimization of secondary electron detection by an ionization detector in the environmental scanning electron microscope. The ionization detectors consisting of a varied electrode geometry and varied voltages on these electrodes, named segmental ionization detectors, are presented as a possibility to reach desired contrasts in a specimen image. In this work, images acquired by several detectors demonstrate detection of different types of signal electrons utilizing a specimen containing thin surface layers and a specimen made for a material contrast measurement. The segmental ionization detector optimized for true secondary electron detection is in the main focus.

Czech name

Optimalizace detekce sekundárních elektronů segmentovým ionizačním detektorem v environmentálním REM

Czech description

Článek se zabývá prezentací výsledků optimalizace detekce sekundárních elektronů ionizačním detektorem v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Ionizační detektory mající různé geometrie elektrod a různá napětí na těchto elektrodách, tzv.segmentové ionizační detektory, jsou prezentovány jako možnost k dosažení požadovaných kontrastů v obraze vzorku. Snímky v této práci získané několika detektory demonstrují detekci různých typů elektronů s využitím vzorku obsahující tenké povrchové vrstvy a vzorku vyrobeného k měření materiálového kontrastu, přičemž hlavní pozornost je zaměřena na segmentový ionizační detektor optimalizovaný pro detekci pravých sekundárních elektronů.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA102%2F05%2F0886" target="_blank" >GA102/05/0886: Investigation of the true secondary electrons detection systems in the newly conceived environmental scanning electron microscope</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy

ISBN

978-80-239-9397-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

2

Pages from-to

79-80

Publisher name

Czechoslovak Microscopy Society

Place of publication

Neuveden

Event location

Praha

Event date

Jun 17, 2007

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—