Vapour deposition on LTCC for 3D structure

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F08%3APU75719" target="_blank" >RIV/00216305:26220/08:PU75719 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Vapour deposition on LTCC for 3D structure

Original language description

Paper deals with an area of thin film layers made for LTCC interconnections. The thin layers were realized using physical vapour deposition (thin film technology). Cooper and silver were used for deposition. Cooper thin film layer properties were affected adversely by sintering but the silver thin film layer was unaffected without any change of parameters. The deposited thin film layers on the LTCC substrate were tested for reliability using current loading. The possibility of deposited layers ultrasonic wire bonding and interconnection were tested and discussed too.

Czech name

Napařování na keramiku nízkých teplot pro 3D struktury

Czech description

Článek se zabývá vytvoření mezisspojení metodou tenkých vrstev a to konkretně napařováním. Pro napařování byly využity kovy stříbro a měď. Z experimentálních vysledku bylo zjištěno, že měď nelze použit, ale v případě stříbra bylo dosaženo dobrých výsledku. V další části byla testována napařená vrstva stříbra na proudové zatížení vzorku, kontaktování - wirebonding a prokovy.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA102%2F08%2F1546" target="_blank" >GA102/08/1546: Miniaturized intelligent systems and nanostructured elektrodes for chemical, biological, and pharmaceutical applications (NANIMEL)</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Electronics

ISSN

1313-1842

e-ISSN

—

Volume of the periodical

2008

Issue of the periodical within the volume

1

Country of publishing house

BG - BULGARIA

Number of pages

6

Pages from-to

—

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—