Experimental study of MEMS capacitive sensor

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F09%3APU81787" target="_blank" >RIV/00216305:26220/09:PU81787 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Experimental study of MEMS capacitive sensor
Original language description
This paper describes a new approach to pressure sensors development using capacitive principle. Novel pressure sensor has been achieved utilizing carbon nanotubes (CNTs) arrays as the surface increase element in capacitive sensor.
Czech name
Experimentální studie MEMS kapacitního senzoru
Czech description
Tento příspěvek popisuje nový přístup k vývoji tlakového senzoru založeném na kapacitním principu. Nový tlakový senzor využívá políček uhlíkových nanotrubic pro zvětšení ploch elektrod kapacitního snímače.

Project
<a href="/en/project/2A-1TP1%2F143" target="_blank" >2A-1TP1/143: Research of novel mechatronic MEMS structures for pressure measurements</a><br>
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2009
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
EDS'09 IMAPS CS International Conference Proceedings
ISBN
978-80-214-3933-7
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
5
Pages from-to
—
Publisher name
Vysoké učení technické v Brně, Antonínská 548/1
Place of publication
Brno
Event location
Brno
Event date
Sep 2, 2009
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)